Hivatkozási szám

MSZ EN ISO 14644-9:2022

Dokumentumazonosító

179362

Cím

Tisztaterek és kapcsolódó szabályozott környezetek. 9. rész: A felületi tisztaság értékelése részecskekoncentráció szempontjából (ISO 14644-9:2022)

Angol cím

Cleanrooms and associated controlled environments. Part 9: Assessment of surface cleanliness for particle concentration (ISO 14644-9:2022)

Alkalmazási terület

This document establishes a procedure for the assessment of particle cleanliness levels on solid surfaces in cleanrooms and associated controlled environment applications. Recommendations on testing and measuring methods, as well as information about surface characteristics, are given in Annexes A to D. This document applies to all solid surfaces in cleanrooms and associated controlled environments, such as walls, ceilings, floors, working environments, tools, equipment and products. The procedure for the assessment of surface cleanliness by particle concentration (SCP) is limited to particles of between 0,05 µm and 500 µm. The following issues are not considered in this document: — requirements for the cleanliness and suitability of surfaces for specific processes; — procedures for the cleaning of surfaces; — material characteristics; — references to interactive bonding forces or generation processes that are usually time-dependent and process-dependent; — selection and use of statistical methods for assessment and testing; — other characteristics of particles, such as electrostatic charge, ionic charges and microbiological state.

ICS

13.040.35 Tiszta terek és a velük kapcsolatos szabályozott környezetek

Műszaki Bizottság

A szabvány nyelve

angol

Az érvényesség kezdete

2022-10-01

Forrás

idt EN ISO 14644-9:2022; idt ISO 14644-9:2022

Előd

MSZ EN ISO 14644-9:2013

Utód

Módosítás

SZK-közlemények

Kapcsolódó európai jogszabály

A szabvány

kapható formátuma

Papír ,
PDF (letöltés) (a fájl mérete: 1190940) ,

oldalszáma

35 oldal; Q kategória

ára

Nettó: 13160 Ft
Bruttó:
Papír formátum esetén (5% Áfával): 16582 Ft
PDF (letöltés) formátum esetén (27% Áfával): 16713 Ft