Hivatkozási szám

MSZ EN ISO 14644-9:2013

Dokumentumazonosító

154943

Cím

Tisztaszobák és kapcsolódó szabályozott környezetek. 9. rész: A felületek tisztaságának osztályozása részecskekoncentráció alapján (ISO 14644-9:2012)

Angol cím

Cleanrooms and associated controlled environments. Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration (ISO 14644-9:2012)

Alkalmazási terület

This part of ISO 14644 establishes the classification of cleanliness levels on solid surfaces by particle concentration in cleanrooms and associated controlled environment applications. Recommendations on testing and measuring methods, as well as information about surface characteristics, are given in Annexes A to D. This part of ISO 14644 applies to all solid surfaces in cleanrooms and associated controlled environments, such as walls, ceilings, floors, working environments, tools, equipment and products. The classification of surface cleanliness by particle concentration (SCP) is limited to particles between 0,05 µm and 500 µm. The following issues are not considered in this part of ISO 14644: - requirements for the cleanliness and suitability of surfaces for specific processes; - procedures for the cleaning of surfaces; - material characteristics; - references to interactive bonding forces or generation processes that are usually time-dependent and process-dependent; - selection and use of statistical methods for classification and testing; - other characteristics of particles, such as electrostatic charge, ionic charges, microbiological state, etc.

ICS

13.040.35 Tiszta terek és a velük kapcsolatos szabályozott környezetek

Műszaki Bizottság

A szabvány nyelve

angol

Az érvényesség kezdete

2013-03-01

A visszavonás napja

2022-10-01

Forrás

idt EN ISO 14644-9:2012; idt ISO 14644-9:2012

Előd

Utód

MSZ EN ISO 14644-9:2022

Módosítás

SZK-közlemények

Kapcsolódó európai jogszabály

A szabvány

kapható formátuma

Papír ,
PDF (letöltés) (a fájl mérete: 1043315) ,

oldalszáma

31 oldal; P kategória

ára

Nettó: 12520 Ft
Bruttó:
Papír formátum esetén (5% Áfával): 15775 Ft
PDF (letöltés) formátum esetén (27% Áfával): 15900 Ft