Hivatkozási szám

MSZ EN ISO 14644-10:2022

Dokumentumazonosító

179361

Cím

Tisztaterek és kapcsolódó szabályozott környezetek. 10. rész: A felületi tisztaság értékelése kémiai szennyezettség szempontjából (ISO 14644-10:2022)

Angol cím

Cleanrooms and associated controlled environments. Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination (ISO 14644-10:2022)

Alkalmazási terület

This document establishes appropriate testing processes to determine the cleanliness of surfaces in cleanrooms with regard to the presence of chemical compounds or elements (including molecules, ions, atoms and particles). This document is applicable to all solid surfaces in cleanrooms and associated controlled environments such as walls, ceilings, floors, worksurfaces, tools, equipment and devices. NOTE 1 For the purpose of this document, consideration is only given to the chemical characteristics of a particle. The physical properties of the particle are not considered and this document does not cover the interaction between the contamination and the surface. NOTE 2 This document does not include the contamination generation process or any time-dependent influences (e.g. deposition, sedimentation, ageing) or process-dependent activities such as transportation and handling. Neither does it include guidance on statistical quality-control techniques to ensure compliance.

ICS

13.040.35 Tiszta terek és a velük kapcsolatos szabályozott környezetek

Műszaki Bizottság

A szabvány nyelve

angol

Az érvényesség kezdete

2022-10-01

Forrás

idt ISO 14644-10:2022; idt EN ISO 14644-10:2022

Előd

MSZ EN ISO 14644-10:2013

Utód

Módosítás

SZK-közlemények

Kapcsolódó európai jogszabály

A szabvány

kapható formátuma

Papír ,
PDF (letöltés) (a fájl mérete: 2471375) ,

oldalszáma

38 oldal; R kategória

ára

Nettó: 14180 Ft
Bruttó:
Papír formátum esetén (5% Áfával): 17867 Ft
PDF (letöltés) formátum esetén (27% Áfával): 18009 Ft