Hivatkozási szám

MSZ EN ISO 14644-10:2013

Dokumentumazonosító

156356

Cím

Tiszta helyiségek és szabályozott környezetek. 10. rész: A felületi tisztaság osztályozása kémiai koncentráció alapján (ISO 14644-10:2013)

Angol cím

Cleanrooms and associated controlled environments. Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration (ISO 14644-10:2013)

Alkalmazási terület

This part of ISO 14644 defines the classification system for cleanliness of surfaces in cleanrooms with regard to the presence of chemical compounds or elements (including molecules, ions, atoms and particles). This part of ISO 14644 is applicable to all solid surfaces in cleanrooms and associated controlled environments such as walls, ceilings, floors, working environment, tools, equipment and devices. NOTE 1 For the purpose of this part of ISO 14644, consideration is only given to the chemical characteristics of a particle. The physical properties of the particle are not considered and this part of ISO 14644 does not cover the interaction between the contamination and the surface. NOTE 2 This part of ISO 14644 does not include the contamination generation process and any time-dependent influences (deposition, sedimentation, ageing, etc.) or process-dependent activities such as transportation and handling. Neither does it include guidance on statistical quality control techniques to ensure compliance.

ICS

13.040.35 Tiszta terek és a velük kapcsolatos szabályozott környezetek

Műszaki Bizottság

A szabvány nyelve

angol

Az érvényesség kezdete

2013-08-01

A visszavonás napja

2022-10-01

Forrás

idt EN ISO 14644-10:2013; idt ISO 14644-10:2013

Előd

Utód

MSZ EN ISO 14644-10:2022

Módosítás

SZK-közlemények

Kapcsolódó európai jogszabály

A szabvány

kapható formátuma

Papír ,
PDF (letöltés) (a fájl mérete: 1397615) ,

oldalszáma

34 oldal; Q kategória

ára

Nettó: 13160 Ft
Bruttó:
Papír formátum esetén (5% Áfával): 16582 Ft
PDF (letöltés) formátum esetén (27% Áfával): 16713 Ft