Hivatkozási szám

MSZ EN 62047-25:2017

Dokumentumazonosító

165122

Cím

Félvezető eszközök. Mikro-elektromechanikus eszközök. 25. rész: Szilíciumalapú MEMS gyártási technológia. A mikrokötési terület húzó-nyomó és nyírószilárdságának mérési módszere (IEC 62047-25:2016)

Angol cím

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 25: Silicon based MEMS fabrication technology. Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area (IEC 62047-25:2016)

Alkalmazási terület

This part of IEC 62047 specifies the in-situ testing method to measure the bonding strength of micro bonding area which is fabricated by micromachining technologies used in silicon-based micro-electromechanical system (MEMS). This document is applicable to the in-situ pull-press and shearing strength measurement of the micro bonding area fabricated by microelectronic technology process and other micromachining technology. Micro anchor, fixed on the substrate through the micro bonding area, provides mechanical support of the movable sensing/actuating functional components in MEMS devices. With the devices scaling, the bonding strength degradation, induced by defects, contaminations and thermal mismatch stress on bonding surface, becomes severer. This standard specifies an insitu testing method of the pull-press and shearing strength based on a patterned technique. This document does not need intricate instruments (such as scanning probe microscopy and nanoindenter) and to prepare the test specimen specially. Since the testing structure in this standard can be implanted in device fabrication as a standard detection pattern, this document can provide a bridge, by which the fabrication foundry can give some quantitative reference for the designer

ICS

31.080.99 Egyéb félvezető eszközök

Műszaki Bizottság

A szabvány nyelve

angol

Az érvényesség kezdete

2017-05-01

Forrás

idt EN 62047-25:2016; idt IEC 62047-25:2016

Előd

Utód

Módosítás

Kiegészítő információk

SZK-közlemények

Kapcsolódó európai jogszabály

A szabvány

kapható formátuma

Papír ,
PDF (letöltés) (a fájl mérete: 598419) ,

oldalszáma

26 oldal; P kategória

ára

Nettó: 12520 Ft
Bruttó:
Papír formátum esetén (5% Áfával): 15775 Ft
PDF (letöltés) formátum esetén (27% Áfával): 15900 Ft