Hivatkozási szám

MSZ EN 62047-26:2016

Dokumentumazonosító

163629

Cím

Félvezető eszközök. Mikro-elektromechanikus eszközök. 26. rész: Mikrobarázda-struktúrák és mikrotűstruktúrák leírása és mérési módszerei (IEC 62047-26:2016)

Angol cím

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures (IEC 62047-26:2016)

Alkalmazási terület

This part of IEC 62047 specifies descriptions of trench structure and needle structure in a micrometer scale. In addition, it provides examples of measurement for the geometry of both structures. For trench structures, this standard applies to structures with a depth of 1 µm to 100 µm; walls and trenches with respective widths of 5 µm to 150 µm; and aspect ratio of 0,006 7 to 20. For needle structures, the standard applies to structures with three or four faces with a height, horizontal width and vertical width of 2 µm or larger, and with dimensions that fit inside a cube with sides of 100 µm. This standard is applicable to the structural design of MEMS and geometrical evaluation after MEMS processes.

ICS

31.080.99 Egyéb félvezető eszközök

Műszaki Bizottság

A szabvány nyelve

angol

Az érvényesség kezdete

2016-09-01

Forrás

idt EN 62047-26:2016; idt IEC 62047-26:2016

Előd

Utód

Módosítás

SZK-közlemények

Kapcsolódó európai jogszabály

A szabvány

kapható formátuma

Papír ,
PDF (letöltés) (a fájl mérete: 713459) ,

oldalszáma

30 oldal; R kategória

ára

Nettó: 14180 Ft
Bruttó:
Papír formátum esetén (5% Áfával): 17867 Ft
PDF (letöltés) formátum esetén (27% Áfával): 18009 Ft