Szabványkereső

Hivatkozási szám, azonosító jelzet, vagy a szabványcímben előforduló kulcsszó szerinti keresés:


ICS (a szabványok nemzetközi osztályozási rendszere) szerinti keresés

Nettó ár: 14180 Ft
Kosárba tesz
Alapadatok
Hivatkozási szám
MSZ EN 62047-26:2016
Dokumentumazonosító
163629
Cím
Félvezető eszközök. Mikro-elektromechanikus eszközök. 26. rész: Mikrobarázda-struktúrák és mikrotűstruktúrák leírása és mérési módszerei (IEC 62047-26:2016)
Angol cím
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures (IEC 62047-26:2016)
Alkalmazási terület
This part of IEC 62047 specifies descriptions of trench structure and needle structure in a micrometer scale. In addition, it provides examples of measurement for the geometry of both structures. For trench structures, this standard applies to structures with a depth of 1 µm to 100 µm; walls and trenches with respective widths of 5 µm to 150 µm; and aspect ratio of 0,006 7 to 20. For needle structures, the standard applies to structures with three or four faces with a height, horizontal width and vertical width of 2 µm or larger, and with dimensions that fit inside a cube with sides of 100 µm. This standard is applicable to the structural design of MEMS and geometrical evaluation after MEMS processes.
ICS
31.080.99 Egyéb félvezető eszközök
A szabvány nyelve
angol
Az érvényesség kezdete
2016-09-01
További adatok
Forrás
idt IEC 62047-26:2016; idt EN 62047-26:2016
Előd
Utód
Módosítás
Kiegészítő információk
SZK-közlemények
Kapcsolódó európai jogszabály
Kereskedelmi adatok
A szabvány
kapható formátuma
Papír ,
PDF (letöltés) (a fájl mérete: 713459) ,
oldalszáma
30 oldal; R kategória
ára
Nettó: 14180 Ft
Bruttó:
Papír formátum esetén (5% Áfával): 17867 Ft
PDF (letöltés) formátum esetén (27% Áfával): 18009 Ft
Szabvány életútja
Elődök

Jelenleg nincsenek előzmények

Megtekintett szabvány

MSZ EN 62047-26:2016

2016-09-01

Utódok

Jelenleg nincsenek utódok