Szabványkereső

Hivatkozási szám, azonosító jelzet, vagy a szabványcímben előforduló kulcsszó szerinti keresés:


ICS (a szabványok nemzetközi osztályozási rendszere) szerinti keresés

Nettó ár: 14180 Ft
Kosárba tesz
Alapadatok
Hivatkozási szám
MSZ EN 62047-17:2015
Dokumentumazonosító
161782
Cím
Félvezető eszközök. Mikro-elektromechanikus eszközök. 17. rész: Domborodásvizsgálati módszer a vékony rétegek mechanikai tulajdonságainak mérésére (IEC 62047-17:2015)
Angol cím
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films (IEC 62047-17:2015)
Alkalmazási terület
This part of IEC 62047 specifies the method for performing bulge tests on the free-standing film that is bulged within a window. The specimen is fabricated with micro/nano structural film materials, including metal, ceramic and polymer films, for MEMS, micromachines and others. The thickness of the film is in the range of 0,1 µm to 10 µm, and the width of the rectangular and square membrane window and the diameter of the circular membrane range from 0,5 mm to 4 mm. The tests are carried out at ambient temperature, by applying a uniformly-distributed pressure to the testing film specimen with bulging window. Elastic modulus and residual stress for the film materials can be determined with this method.
ICS
31.080.99 Egyéb félvezető eszközök
A szabvány nyelve
angol
Az érvényesség kezdete
2015-11-01
További adatok
Forrás
idt IEC 62047-17:2015; idt EN 62047-17:2015
Előd
Utód
Módosítás
SZK-közlemények
Kapcsolódó európai jogszabály
Kereskedelmi adatok
A szabvány
kapható formátuma
Papír ,
PDF (letöltés) (a fájl mérete: 955088) ,
oldalszáma
30 oldal; R kategória
ára
Nettó: 14180 Ft
Bruttó:
Papír formátum esetén (5% Áfával): 17867 Ft
PDF (letöltés) formátum esetén (27% Áfával): 18009 Ft
Szabvány életútja
Elődök

Jelenleg nincsenek előzmények

Megtekintett szabvány

MSZ EN 62047-17:2015

2015-11-01

Utódok

Jelenleg nincsenek utódok