Hivatkozási szám

MSZ EN 62047-15:2015

Dokumentumazonosító

161780

Cím

Félvezető eszközök. Mikro-elektromechanikus eszközök. 15. rész: A PDMS és az üveg közötti kötési szilárdság vizsgálati módszere (IEC 62047-15:2015)

Angol cím

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 15: Test method of bonding strength between PDMS and glass (IEC 62047-15:2015)

Alkalmazási terület

This part of IEC 62047 describes test method for bonding strength between poly dimethyl siloxane (PDMS) and glass. Silicone-based rubber, PDMS, is used for building of chip-based microfluidic devices fabricated using lithography and replica moulding processes. The problem of bonding strength is mainly for high pressure applications as in the case of certain peristaltic pump designs where an off chip compressed air supply is used to drive the fluids in micro channels created by a twin layer, one formed by bondage between glass with replica moulded PDMS and another between PDMS and PDMS. Also, in case of systems having pneumatic microvalves, a relatively high level of bonding particularly between two replica moulded layers of PDMS becomes quite necessary. Usually there is a leakage and debonding phenomena between interface of bonded areas, which causes unstability and shortage of lifetime for MEMS devices. This standard specifies general procedures on bonding test of PDMS and glass chip.

ICS

31.080.99 Egyéb félvezető eszközök

Műszaki Bizottság

A szabvány nyelve

angol

Az érvényesség kezdete

2015-11-01

A visszavonás napja

2018-07-01

Forrás

idt IEC 62047-15:2015; idt EN 62047-15:2015

Előd

Utód

Módosítás

SZK-közlemények

Kapcsolódó európai jogszabály

A szabvány

kapható formátuma

Papír ,
PDF (letöltés) (a fájl mérete: 492771) ,

oldalszáma

14 oldal; G kategória

ára

Nettó: 8000 Ft
Bruttó:
Papír formátum esetén (5% Áfával): 10080 Ft
PDF (letöltés) formátum esetén (27% Áfával): 10160 Ft