Hivatkozási szám

MSZ EN 62047-22:2015

Dokumentumazonosító

159566

Cím

Félvezető eszközök. Mikroelektromechanikus eszközök. 22. rész: Rugalmas hordozófelületek vezetőképes vékony rétegének elektromechanikus szakítóvizsgálati módszere (IEC 62047-22:2014)

Angol cím

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 22: Electromechanical tensile test method for conductive thin films on flexible substrates (IEC 62047-22:2014)

Alkalmazási terület

This part of IEC 62047 specifies a tensile test method to measure electromechanical properties of conductive thin micro-electromechanical systems (MEMS) materials bonded on non-conductive flexible substrates. Conductive thin-film structures on flexible substrates are extensively utilized in MEMS, consumer products, and flexible electronics. The electrical behaviours of films on flexible substrates differ from those of freestanding films and substrates due to their interfacial interactions. Different combinations of flexible substrates and thin films often lead to various influences on the test results depending on the test conditions and the interfacial adhesion. The desired thickness of a thin MEMS material is 50 times thinner than that of the flexible substrate, whereas all other dimensions are similar to each other.

ICS

01.080.99 Egyéb grafikus jelképek

Műszaki Bizottság

A szabvány nyelve

angol

Az érvényesség kezdete

2015-03-01

Forrás

idt EN 62047-22:2014; idt IEC 62047-22:2014

Előd

Utód

Módosítás

SZK-közlemények

Kapcsolódó európai jogszabály

A szabvány

kapható formátuma

Papír ,
PDF (letöltés) (a fájl mérete: 399335) ,

oldalszáma

11 oldal; H kategória

ára

Nettó: 8640 Ft
Bruttó:
Papír formátum esetén (5% Áfával): 10886 Ft
PDF (letöltés) formátum esetén (27% Áfával): 10973 Ft