Hivatkozási szám

MSZ EN 62047-18:2014

Dokumentumazonosító

158246

Cím

Félvezető eszközök. Mikro-elektromechanikus eszközök. 18. rész: Vékonyréteg-áramkör hajlításvizsgálati módszere (IEC 62047-18:2013)

Angol cím

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 18: Bend testing methods of thin film materials (IEC 62047-18:2013)

Alkalmazási terület

This part of IEC 62047 specifies the method for bend testing of thin film materials with a length and width under 1 mm and a thickness in the range between 0,1 µm and 10 µm. Thin films are used as main structural materials for Micro-electromechanical Systems (abbreviated as MEMS in this document) and micromachines. The main structural materials for MEMS, micromachines, etc., have special features, such as a few micron meter size, material fabrication by deposition, photolithography, and/ or nonmechanical machining test piece. This International Standard specifies the bend testing and test piece shape for micro-sized smooth cantilever type test pieces, which enables a guarantee of accuracy corresponding to the special features.

ICS

31.080.99 Egyéb félvezető eszközök

Műszaki Bizottság

A szabvány nyelve

angol

Az érvényesség kezdete

2014-07-01

Forrás

idt EN 62047-18:2013; idt IEC 62047-18:2013

Előd

Utód

Módosítás

SZK-közlemények

Kapcsolódó európai jogszabály

A szabvány

kapható formátuma

Papír ,
PDF (letöltés) (a fájl mérete: 519728) ,

oldalszáma

14 oldal; G kategória

ára

Nettó: 8000 Ft
Bruttó:
Papír formátum esetén (5% Áfával): 10080 Ft
PDF (letöltés) formátum esetén (27% Áfával): 10160 Ft