Hivatkozási szám

MSZ EN 62047-11:2014

Dokumentumazonosító

158245

Cím

Félvezető eszközök. Mikro-elektromechanikus eszközök. 11. rész: Mikro-elektromechanikus rendszerek szabadon álló részei lineáris hőtágulási együtthatóinak vizsgálati módszere (IEC 62047-11:2013)

Angol cím

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems (IEC 62047-11:2013)

Alkalmazási terület

This part of IEC 62047 specifies the test method to measure the linear thermal expansion coefficients (CLTE) of thin free-standing solid (metallic, ceramic, polymeric etc.) microelectro-mechanical system (MEMS) materials with length between 0,1 mm and 1 mm and width between 10 µm and 1 mm and thickness between 0,1 µm and 1 mm, which are main structural materials used for MEMS, micromachines and others. This test method is applicable for the CLTE measurement in the temperature range from room temperature to 30 % of a material’s melting temperature.

ICS

31.080.99 Egyéb félvezető eszközök

Műszaki Bizottság

A szabvány nyelve

angol

Az érvényesség kezdete

2014-07-01

Forrás

idt EN 62047-11:2013; idt IEC 62047-11:2013

Előd

Utód

Módosítás

SZK-közlemények

Kapcsolódó európai jogszabály

A szabvány

kapható formátuma

Papír ,
PDF (letöltés) (a fájl mérete: 923766) ,

oldalszáma

20 oldal; K kategória

ára

Nettó: 9880 Ft
Bruttó:
Papír formátum esetén (5% Áfával): 12449 Ft
PDF (letöltés) formátum esetén (27% Áfával): 12548 Ft