Hivatkozási szám

MSZ EN 62047-14:2013

Dokumentumazonosító

155460

Cím

Félvezető eszközök. Mikro-elektromechanikus eszközök. 14. rész: Fémes vékony rétegek alakítási határértékeinek mérési módszere (IEC 62047-14:2012)

Angol cím

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials (IEC 62047-14:2012)

Alkalmazási terület

This part of IEC 62047 describes definitions and procedures for measuring the forming limit of metallic film materials with a thickness range from 0,5 µm to 300 µm. The metallic film materials described herein are typically used in electric components, MEMS and microdevices. When metallic film materials used in MEMS (see 2.1.2 of IEC 62047-1:2005) are fabricated by a forming process such as imprinting, it is necessary to predict the material failure in order to increase the reliability of the components. Through this prediction, the effectiveness of manufacturing MEMS components by a forming process can also be improved, because the period of developing a product can be reduced and manufacturing costs can thus be decreased. This standard presents one of the prediction methods for material failure in imprinting process.

ICS

31.080.99 Egyéb félvezető eszközök

Műszaki Bizottság

A szabvány nyelve

angol

Az érvényesség kezdete

2013-05-01

Forrás

idt EN 62047-14:2012; idt IEC 62047-14:2012

Előd

Utód

Módosítás

SZK-közlemények

Kapcsolódó európai jogszabály

A szabvány

kapható formátuma

Papír ,
PDF (letöltés) (a fájl mérete: 663150) ,

oldalszáma

18 oldal; J kategória

ára

Nettó: 9170 Ft
Bruttó:
Papír formátum esetén (5% Áfával): 11554 Ft
PDF (letöltés) formátum esetén (27% Áfával): 11646 Ft