Hivatkozási szám

MSZ EN 62047-13:2013

Dokumentumazonosító

155459

Cím

Félvezető eszközök. Mikro-elektromechanikus eszközök. 13. rész: MEMS-szerkezetek tapadószilárdságának mérése hajlításos fárasztóvizsgálati módszerrel (IEC 62047-13:2012)

Angol cím

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 13: Bend- and shear- type test methods of measuring adhesive strength for MEMS structures (IEC 62047-13:2012)

Alkalmazási terület

This part of IEC 62047 specifies the adhesive testing method between micro-sized elements and a substrate using the columnar shape of the specimens. This international standard can be applied to adhesive strength measurement of microstructures, prepared on a substrate, with width and thickness of 1 µm to 1 mm, respectively. Micro-sized elements of MEMS devices are made up of laminated fine pattern films on a substrate, which are fabricated by deposition, plating, and/or coating with photolithography. MEMS devices include a large number of interfaces between dissimilar materials, at which delamination occasionally occurs during fabrication or in operation. Combination of the materials at the junction determines the adhesive strength; moreover, defects and residual stress in the vicinity of the interface, which are changing by processing condition, strongly affect the adhesive strength. This standard specifies the adhesive testing method for microsized- elements in order to optimally select materials and processing conditions for MEMS devices. This standard does not particularly restrict test piece material, test piece size and performance of the measuring device, since the materials and size of MEMS device components range widely and testing machine for micro-sized materials has not been generalized.

ICS

31.080.99 Egyéb félvezető eszközök

Műszaki Bizottság

A szabvány nyelve

angol

Az érvényesség kezdete

2013-05-01

Forrás

idt EN 62047-13:2012; idt IEC 62047-13:2012

Előd

Utód

Módosítás

Kiegészítő információk

SZK-közlemények

Kapcsolódó európai jogszabály

A szabvány

kapható formátuma

Papír ,
PDF (letöltés) (a fájl mérete: 572551) ,

oldalszáma

15 oldal; H kategória

ára

Nettó: 8640 Ft
Bruttó:
Papír formátum esetén (5% Áfával): 10886 Ft
PDF (letöltés) formátum esetén (27% Áfával): 10973 Ft