Hivatkozási szám

MSZ EN 62047-12:2012

Dokumentumazonosító

153236

Cím

Félvezető eszközök. Mikro-elektromechanikai eszközök. 12. rész: Vékonyréteg-anyagok hajlításos fárasztóvizsgálati módszere MEMS-szerkezetek rezonanciás rezgetésével (IEC 62047-12:2011)

Angol cím

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures (IEC 62047-12:2011)

Alkalmazási terület

This part of IEC 62047 specifies a method for bending fatigue testing using resonant vibration of microscale mechanical structures of MEMS (micro-electromechanical systems) and micromachines. This standard applies to vibrating structures ranging in size from 10 µm to 1 000 µm in the plane direction and from 1 µm to 100 µm in thickness, and test materials measuring under 1 mm in length, under 1 mm in width, and between 0,1 µm and 10 µm in thickness. The main structural materials for MEMS, micromachine, etc. have special features, such as typical dimensions of a few microns, material fabrication by deposition, and test piece fabrication by means of non-mechanical machining, including photolithography. The MEMS structures often have higher fundamental resonant frequency and higher strength than macro structures. To evaluate and assure the lifetime of MEMS structures, a fatigue testing method with ultra high cycles (up to 1012) loadings needs to be established. The object of the test method is to evaluate the mechanical fatigue properties of microscale materials in a short time by applying high load and high cyclic frequency bending stress using resonant vibration.

ICS

31.080.99 Egyéb félvezető eszközök

Műszaki Bizottság

A szabvány nyelve

angol

Az érvényesség kezdete

2012-03-01

Forrás

idt EN 62047-12:2011; idt IEC 62047-12:2011

Előd

Utód

Módosítás

SZK-közlemények

Kapcsolódó európai jogszabály

A szabvány

kapható formátuma

Papír ,
PDF (letöltés) (a fájl mérete: 655224) ,

oldalszáma

30 oldal; P kategória

ára

Nettó: 12520 Ft
Bruttó:
Papír formátum esetén (5% Áfával): 15775 Ft
PDF (letöltés) formátum esetén (27% Áfával): 15900 Ft