Szabványkereső

Hivatkozási szám, azonosító jelzet, vagy a szabványcímben előforduló kulcsszó szerinti keresés:

ICS (a szabványok nemzetközi osztályozási rendszere) szerinti keresés

Nettó ár: 12520 Ft
Kosárba tesz
Alapadatok
Hivatkozási szám
MSZ EN 62047-12:2012
Dokumentumazonosító
153236
Cím
Félvezető eszközök. Mikro-elektromechanikai eszközök. 12. rész: Vékonyréteg-anyagok hajlításos fárasztóvizsgálati módszere MEMS-szerkezetek rezonanciás rezgetésével (IEC 62047-12:2011)
Angol cím
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures (IEC 62047-12:2011)
Alkalmazási terület
This part of IEC 62047 specifies a method for bending fatigue testing using resonant vibration of microscale mechanical structures of MEMS (micro-electromechanical systems) and micromachines. This standard applies to vibrating structures ranging in size from 10 µm to 1 000 µm in the plane direction and from 1 µm to 100 µm in thickness, and test materials measuring under 1 mm in length, under 1 mm in width, and between 0,1 µm and 10 µm in thickness. The main structural materials for MEMS, micromachine, etc. have special features, such as typical dimensions of a few microns, material fabrication by deposition, and test piece fabrication by means of non-mechanical machining, including photolithography. The MEMS structures often have higher fundamental resonant frequency and higher strength than macro structures. To evaluate and assure the lifetime of MEMS structures, a fatigue testing method with ultra high cycles (up to 1012) loadings needs to be established. The object of the test method is to evaluate the mechanical fatigue properties of microscale materials in a short time by applying high load and high cyclic frequency bending stress using resonant vibration.
ICS
31.080.99 Egyéb félvezető eszközök
Műszaki Bizottság
MSZT/MCS 820 - Elektronikai alkatrészek
A szabvány nyelve
angol
Az érvényesség kezdete
2012-03-01
További adatok
Forrás
idt EN 62047-12:2011; idt IEC 62047-12:2011
Előd
Utód
Módosítás
Kiegészítő információk
SZK-közlemények
Kapcsolódó európai jogszabály
Kereskedelmi adatok
A szabvány
kapható formátuma
Papír ,
PDF (letöltés) (a fájl mérete: 655224) ,
oldalszáma
30 oldal; P kategória
ára
Nettó: 12520 Ft
Bruttó:
Papír formátum esetén (5% Áfával): 15775 Ft
PDF (letöltés) formátum esetén (27% Áfával): 15900 Ft
Szabvány életútja
Elődök

Jelenleg nincsenek előzmények

Megtekintett szabvány

MSZ EN 62047-12:2012

2012-03-01

Utódok

Jelenleg nincsenek utódok