Hivatkozási szám

MSZ EN 62047-8:2011

Dokumentumazonosító

152207

Cím

Félvezető eszközök. Mikro-elektromechanikus eszközök. 8. rész: Szalaghajtogatási vizsgálati módszer vékony rétegek húzó igénybevételi jellemzőinek mérésére (IEC 62047-8:2011)

Angol cím

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 8: Strip bending test method for tensile property measurement of thin films (IEC 62047-8:2011)

Alkalmazási terület

This international standard specifies the strip bending test method to measure tensile properties of thin films with high accuracy, repeatability, moderate effort of alignment and handling compared to the conventional tensile test. This testing method is valid for test pieces with a thickness between 50 nm and several mm, and with an aspect ratio (ratio of length to thickness) of more than 300. The hanging strip (or bridge) between two fixed supports are widely adopted in MEMS or micro-machines. It is much easier to fabricate these strips than the conventional tensile test pieces. The test procedures are so simple to be readily automated. This international standard can be utilized as a quality control test for MEMS production since its testing throughput is very high compared to the conventional tensile test.

ICS

31.080.99 Egyéb félvezető eszközök

Műszaki Bizottság

A szabvány nyelve

angol

Az érvényesség kezdete

2011-10-01

Forrás

idt EN 62047-8:2011; idt IEC 62047-8:2011

Előd

Utód

Módosítás

SZK-közlemények

Kapcsolódó európai jogszabály

A szabvány

kapható formátuma

Papír ,
PDF (letöltés) (a fájl mérete: 726189) ,

oldalszáma

18 oldal; J kategória

ára

Nettó: 9170 Ft
Bruttó:
Papír formátum esetén (5% Áfával): 11554 Ft
PDF (letöltés) formátum esetén (27% Áfával): 11646 Ft