Hivatkozási szám

MSZ EN 62047-4:2011

Dokumentumazonosító

151398

Cím

Félvezető eszközök. Mikroelektromechanikai eszközök. 4. rész: A mikroelektromechanikai rendszerek (MEMS-ek) termékfőcsoport-előírása (IEC 62047-4:2008)

Angol cím

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 4: Generic specification for MEMS (IEC 62047-4:2008)

Alkalmazási terület

This part of IEC 62047 describes generic specifications for micro-electromechanical systems (MEMS) made by semiconductors, which are the basis for specifications given in other parts of this series for various types of MEMS applications such as sensors, RF MEMS, excluding optical MEMS, bio MEMS, micro TAS, and power MEMS. This standard specifies general procedures for quality assessment to be used in IECQ-CECC systems and establishes general principles for describing and testing of electrical, optical, mechanical and environmental characteristics. This part of IEC 62047 aids in the preparation of standards that define devices and systems made by micromachining technology, including but not limited to, material characterization and handling, assembly and testing, process control and measuring methods. MEMS described in this standard are basically made of semiconductor material. However, the statements made in this standard are also applicable to MEMS using materials other than semiconductor, for example, polymers, glass, metals and ceramic materials.

ICS

31.080.99 Egyéb félvezető eszközök

Műszaki Bizottság

A szabvány nyelve

angol

Az érvényesség kezdete

2011-04-01

Forrás

idt EN 62047-4:2010; idt IEC 62047-4:2008

Előd

Utód

Módosítás

SZK-közlemények

Kapcsolódó európai jogszabály

A szabvány

kapható formátuma

Papír ,
PDF (letöltés) (a fájl mérete: 369793) ,

oldalszáma

20 oldal; K kategória

ára

Nettó: 9880 Ft
Bruttó:
Papír formátum esetén (5% Áfával): 12449 Ft
PDF (letöltés) formátum esetén (27% Áfával): 12548 Ft