Hivatkozási szám

MSZ EN 62047-6:2010

Dokumentumazonosító

150394

Cím

Félvezető eszközök. Mikro-elektromechanikus eszközök. 6. rész: Vékonyréteg-anyagok tengelyirányú fárasztóvizsgálati módszerei (IEC 62047-6:2009)

Angol cím

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials (IEC 62047-6:2009)

Alkalmazási terület

This International Standard specifies the method for axial tensile–tensile force fatigue testing of thin film materials with a length and width under 1 mm and a thickness in the range between 0,1 µm and 10 µm under constant force range or constant displacement range. Thin films are used as main structural materials for MEMS and micromachines. The main structural materials for MEMS, micromachines, etc., have special features, such as typical dimensions of a few microns, material fabrication by deposition, and test piece fabrication by means of non-mechanical machining, including photolithography. This International Standard specifies the axial force fatigue testing methods for micro-sized smooth specimens, which enables a guarantee of accuracy corresponding to the special features. The tests are carried out at room temperatures, in air, with loading applied to the test piece along the longitudinal axis.

ICS

31.080.99 Egyéb félvezető eszközök

Műszaki Bizottság

A szabvány nyelve

angol

Az érvényesség kezdete

2010-09-01

Forrás

idt EN 62047-6:2010; idt IEC 62047-6:2009

Előd

Utód

Módosítás

SZK-közlemények

Kapcsolódó európai jogszabály

A szabvány

kapható formátuma

Papír ,
PDF (letöltés) (a fájl mérete: 379849) ,

oldalszáma

16 oldal; H kategória

ára

Nettó: 8640 Ft
Bruttó:
Papír formátum esetén (5% Áfával): 10886 Ft
PDF (letöltés) formátum esetén (27% Áfával): 10973 Ft