Hivatkozási szám

MSZ EN 62047-3:2007

Dokumentumazonosító

142225

Cím

Félvezető eszközök. Mikro-elektromechanikai eszközök. 3. rész: Szabványos szakítóvizsgálati vékonyréteg-próbatest (IEC 62047-3:2006)

Angol cím

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing (IEC 62047-3:2006)

Alkalmazási terület

This International Standard specifies a standard test piece, which is used to guarantee the propriety and accuracy of a tensile testing system for thin film materials with length and width under 1 mm and thickness under 10 µm, which are main structural materials for microelectromechanical systems (MEMS), micromachines and similar devices. This International Standard is based on such a concept that a tensile testing system can be guaranteed in propriety and accuracy, when the measured tensile strengths of the standard test pieces, whose tensile strength is pre-determined, are within the designated range. It also specifies the test pieces to minimize characteristics deviation among the pieces.

ICS

31.080.99 Egyéb félvezető eszközök

Műszaki Bizottság

A szabvány nyelve

angol

Az érvényesség kezdete

2007-01-01

Forrás

idt EN 62047-3:2006; idt IEC 62047-3:2006

Előd

Utód

Módosítás

SZK-közlemények

Kapcsolódó európai jogszabály

A szabvány

kapható formátuma

Papír ,
PDF (letöltés) (a fájl mérete: 251983) ,

oldalszáma

9 oldal; E kategória

ára

Nettó: 6730 Ft
Bruttó:
Papír formátum esetén (5% Áfával): 8480 Ft
PDF (letöltés) formátum esetén (27% Áfával): 8547 Ft