Hivatkozási szám

MSZ EN 62047-2:2007

Dokumentumazonosító

142224

Cím

Félvezető eszközök. Mikro-elektromechanikai eszközök. 2. rész: Vékonyréteg-anyagok szakítóvizsgálati módszere (IEC 62047-2:2006)

Angol cím

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 2: Tensile testing method of thin film materials (IEC 62047-2:2006)

Alkalmazási terület

This International Standard specifies the method for tensile testing of thin film materials with length and width under 1 mm and thickness under 10 µm, which are main structural materials for micro-electromechanical systems (MEMS), micromachines and similar devices. The main structural materials for MEMS, micromachines and similar devices have special features such as typical dimensions in the order of a few microns, a material fabrication by deposition, and a test piece fabrication by non-mechanical machining using etching and photolithography. This International Standard specifies the testing method, which enables a guarantee of accuracy corresponding to the special features.

ICS

31.080.99 Egyéb félvezető eszközök

Műszaki Bizottság

A szabvány nyelve

angol

Az érvényesség kezdete

2007-01-01

Forrás

idt EN 62047-2:2006; idt IEC 62047-2:2006

Előd

Utód

Módosítás

SZK-közlemények

Kapcsolódó európai jogszabály

A szabvány

kapható formátuma

Papír ,
PDF (letöltés) (a fájl mérete: 303232) ,

oldalszáma

14 oldal; G kategória

ára

Nettó: 8000 Ft
Bruttó:
Papír formátum esetén (5% Áfával): 10080 Ft
PDF (letöltés) formátum esetén (27% Áfával): 10160 Ft